Fujitsu 163-0731 User Manual
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第 2 章 技術解説
■ リラクゼーション（緩和）特性
ここまで強誘電体キャパシタのヒステリシス特性は , 時間依存を無視して , 滑らかで連続する曲線
として描いてきましたが , 実際は図 2.6 に示すような曲線が観測されます。すなわち , Vf = 0 V の残留
分極点から , 時間依存で A’ → A, または D' → D のように分極量の落ち込みが観測されます。これは ,
リテンション特性が長時間レンジでの Q の劣化であるのに対して , 短時間での Q の減少としてみるこ
とができます。このことは , ヒステリシス特性は , D' → C → D' または A' → F → A' の軌跡を描かず ,
時間に依存して D → C → D' → D または A → F → A' → A のように描くことを示しています。
分極点から , 時間依存で A’ → A, または D' → D のように分極量の落ち込みが観測されます。これは ,
リテンション特性が長時間レンジでの Q の劣化であるのに対して , 短時間での Q の減少としてみるこ
とができます。このことは , ヒステリシス特性は , D' → C → D' または A' → F → A' の軌跡を描かず ,
時間に依存して D → C → D' → D または A → F → A' → A のように描くことを示しています。
図 2.6 ヒステリシス曲線
A ("1")
+Pr
C
F
A'
−Pr
+Vcc
−Vcc
Vf [V]
D ("0")
+vc
−vc
D'
Q [ µC /cm
2
]
D
E
B