Sierra Mass Flow Meter and Controller 830 Manual De Usuario

Series 830/840/860 Instruction Manual 

Appendix A

 

IM-83/84/86-H 

A-3

 

The following tables provide K-factors and thermodynamic prop-
erties of gases commonly used with mass flow meters and control-
lers.  The purpose of these tables is two-fold: 
 
1.  Calibrating an “actual” gas with a reference gas. This is par-

ticularly useful if the actual gas is not a common gas or if it is 
toxic, flammable, corrosive, etc. 

 
2.  Interpreting the reading of a flow meter or flow controller 

which has been calibrated with a gas other than the actual gas. 

 
In applying the tables, the following fundamental relationship is used: 
 
 

 

 

Q

1

/Q

2

 = K

1

/K

2

  

 

 

     (1) 

 
Where: 
 
Q  =  The volumetric flow rate of the gas referenced to standard 
 

conditions of 0°C and 760 mm Hg (sccm or slm), 

 
K  =  The K-factor defined in equation (6), 
 
( )

 1

  =  Refers to the “actual” gas, and 

 
( )

 2

  =  Refers to the “reference” gas. 

 
The K-factor is derived from the first law of thermodynamics ap-
plied to the sensor tube, as described in Chapter 1: 

 

H  =

mC  !T

•

N

p

(2)