Agilent Technologies 20ET ユーザーズマニュアル

Calibrating for Increased Measurement Accuracy

Non-coaxial, on-wafer measurements present a unique set of challenges for error 
correction in the analyzer:

• The close spacing between the microwave probes makes it difficult to maintain a high 

degree of isolation between the input and the output.

• The type of device measured on-wafer is often not always a simple two-port.

• It may be difficult to make repeatable on-wafer contacts due to the size of the device 

contact pads.

The capability of making non-coaxial measurements is available with TRL 
(thru-reflect-line) or LRM (line-reflect-match) calibration. For in-depth information on 
TRL/LRM calibration, refer to 

.

Due to the simplicity of the calibration standards, TRL or LRM calibrations may be used 
for non-coaxial applications such as on-wafer measurements. This type of calibration with 
time-domain gating and a variety of probe styles can provide optimal accuracy in on-wafer 
measurements. 

Full TRL/LRM calibration is available on instruments equipped with Option 
400, four sampler test set. TRL*/LRM* is available on standard instruments.

Fixtures are needed to interface non-coaxial devices to coaxial test instruments. It may 
also be necessary to transform the characteristic impedance from standard 50 

Ω 

instruments to a non-standard impedance and to apply bias if an active device is being 
measured.

For accurate measurements, the fixture must introduce minimum change to the test 
signal, not destroy the test device, and provide a repeatable connection to the device.

For information about test fixtures for your measurement systems, ask for literature   
number 5962-9723E or contact: Inter-Continental Microwave, 1515 Wyatt Drive, Santa 
Clara, CA 95054, USA (Web site: http://www.icmicrowave.com).