Olicom 9600 ユーザーズマニュアル

9600 Compressor Installation, Operation, and Maintenance

P/N 8040540

3-7

C

HELIX  TECHNOLOGY  CORPORATION

-

TI

CRYOGENICS

1. Inspect the On-Board Cryopump(s) being installed for the 

presence of a THREE-PHASE label by the RETURN helium 
connector.

2. If a three-phase label is present, set the cryopump power phase 

switch, shown in Figure 3-2, to the 3PH position.

3. If a three-phase label is not present, or Cryo-Torr Cryopumps are 

being installed, set the cryopump power phase switch, shown in 
Figure 3-2, to the 2PH position.

Make sure the helium flex lines are connected and disconnected from 
the 9600 Compressor using the following procedure and as shown in 
Figure 3-3. Failure to follow this procedure could damage connector  
O-ring seals or cause a helium circuit leak.

1. Remove all dust plugs and caps from the Gas Supply and 

Return lines, and the Compressor and cryopump Supply and 
Return connectors.  Check for the presence of a flat gasket in 
the male connector, and no gasket in the female connector.

2. Connect the Gas Return line to the GAS RETURN connector on the 

rear of the Compressor and then to the GAS RETURN connector 
on the cryopump.  Using two wrenches as shown in Figure 3-3, 
tighten the connector.

3. Connect the Gas Supply line to the GAS SUPPLY connector on the 

rear of the Compressor and then to the GAS SUPPLY connector on 
the cryopump.  Using two wrenches as shown in Figure 3-3, tighten 
the connector.

4. Attach the Supply and Return line identification labels to each end 

of the appropriate lines.